Lihat sumber Spektrometri massa ion sekunder

[[File:IMS3F_pbmf.JPG|thumb|right|280px|IMS3F pbmf]]

'''Spektrometri massa ion sekunder''' ('''SIMS''') adalah teknik yang digunakan untuk menganalisis komposisi permukaan padat dan [[Teknologi film tipis|lapisan tipis]] dengan [[pemercikan (fisika)|memercikkan]] permukaan suatu spesimen dengan [[berkas ion]] primer terfokus dan mengumpulkan serta menganalisis ion sekunder yang dikeluarkan. Rasio massa/muatan ion sekunder ini diukur dengan [[Spektrometri massa|spektrometer massa]] untuk menentukan komposisi unsur, isotop, atau molekul permukaan hingga kedalaman 1 hingga 2&nbsp;nm. Karena adanya variasi yang besar dalam probabilitas ionisasi di antara unsur-unsur yang terpercik dari bahan yang berbeda, perbandingan terhadap standar yang dikalibrasi dengan baik diperlukan untuk mencapai hasil kuantitatif yang akurat. SIMS merupakan teknik analisis permukaan yang paling sensitif, dengan batas deteksi unsur mulai dari bagian per juta hingga bagian per miliar.
==Lihat pula==
* [[Spektrometri massa ion sekunder skala nano|NanoSIMS]]
==Bibliografi umum==
* Benninghoven, A., Rüdenauer, F. G., Werner, H. W., ''Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends'', Wiley, New York, 1987 (1227 pages), 
* Vickerman, J. C., Brown, A., Reed, N. M., ''Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications'', Clarendon Press, Oxford, 1989 (341 pages), 
* Wilson, R. G., Stevie, F. A., Magee, C. W., ''Secondary Ion Mass Spectrometry: A Practical Handbook for Depth Profiling and Bulk Impurity Analysis'', John Wiley & Sons, New York, 1989, 
* Vickerman, J. C., Briggs, D., ''ToF-SIMS: Surface Analysis by Mass Spectrometry', IM Publications, Chichester UK and SurfaceSpectra, Manchester, UK, 2001 (789 pages), 
* Bubert, H., Jenett, H., 'Surface and Thin Film Analysis: A Compendium of Principles, Instrumentation, and Applications'', pp.&nbsp;86–121, Wiley-VCH, Weinheim, Germany, 2002, 

==Pranala luar==
*  Tutorial pages for SIMS [http://www.eag.com/mc/sims-theory.html theory] and [http://www.eaglabs.com/training/tutorials/sims_instrumentation_tutorial/ instrumentation]

== Sumber dan atribusi ==

Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Spektrometri+massa+ion+sekunder&oldid=28080084 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28080084 (2025-10-17T19:13:40Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Gambar pada artikel ini bersumber dari Wikimedia Commons dan mengikuti ketentuan lisensi masing-masing berkas. Mohon gunakan konten dan media secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.

<!-- WIKI_UNISSULA_PRESENTATION_V4 -->