https://wiki.unissula.ac.id/index.php?action=history&feed=atom&title=Deposisi_uap_kimia_metal_organik
Deposisi uap kimia metal organik - Riwayat revisi
2026-09-16T09:36:30Z
Riwayat revisi halaman ini di wiki
MediaWiki 1.46.0
https://wiki.unissula.ac.id/index.php?title=Deposisi_uap_kimia_metal_organik&diff=6686&oldid=prev
Maintenance script: Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi
2026-08-24T14:04:48Z
<p>Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi</p>
<table style="background-color: #fff; color: #202122;" data-mw-interface="">
<col class="diff-marker" />
<col class="diff-content" />
<col class="diff-marker" />
<col class="diff-content" />
<tr class="diff-title" lang="id">
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #202122; text-align: center;">← Revisi sebelumnya</td>
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #202122; text-align: center;">Revisi per 24 Agustus 2026 14.04</td>
</tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1">Baris 1:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">Baris 1:</td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''Deposisi Fasa Uap Kimia Metalorganik''' ('''MOCVD''')''',''' juga dikenal sebagai '''Epitaksi Fasa Uap Organometalik''' ('''OMVPE''') atau '''Epitaksi Fasa Uap Metalorganik''' ('''MOVPE'''), adalah suatu teknik yang digunakan dalam [[fabrikasi semikonduktor]] untuk membuat lapisan tipis material [[semikonduktor]] seperti [[Galium arsenida|gallium arsenida (GaAs)]], [[Indium gallium arsenida|indium gallium arsenida (InGaAs)]], dan sejenisnya. Teknik ini melibatkan proses kimia di mana bahan kimia [[organometalik]] (zat kimia yang mengandung logam dan [[karbon]]) diuapkan pada suhu tinggi dan diarahkan menuju [[Substrat (kimia)|substrat]] yang dipanaskan. Proses ini biasanya dilakukan di dalam ruang reaksi yang terkendali dengan [[Atmosfer (satuan)|atmosfer]] gas tertentu.</div></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">[[File:MOCVDprocess.jpg|thumb|right|280px|Ilustrasi Proses]]</ins></div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div> </div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''Deposisi Fasa Uap Kimia Metalorganik''' ('''MOCVD''')''',''' juga dikenal sebagai '''Epitaksi Fasa Uap Organometalik''' ('''OMVPE''') atau '''Epitaksi Fasa Uap Metalorganik''' ('''MOVPE'''),<ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><ref>[https://web.archive.org/web/20131103075508/http://pureguard.net/cm/Application_Wizard/MOCVD_Epitaxy.html MOCVD Epitaxy (OMVPE, MOVPE, OMCVD) & Crystal Growth]. ''web.archive.org''. 2013-11-03.</ref> </ins>adalah suatu teknik yang digunakan dalam [[fabrikasi semikonduktor]] untuk membuat lapisan tipis material [[semikonduktor]] seperti [[Galium arsenida|gallium arsenida (GaAs)]], [[Indium gallium arsenida|indium gallium arsenida (InGaAs)]], dan sejenisnya. Teknik ini melibatkan proses kimia di mana bahan kimia [[organometalik]] (zat kimia yang mengandung logam dan [[karbon]]) diuapkan pada suhu tinggi dan diarahkan menuju [[Substrat (kimia)|substrat]] yang dipanaskan. Proses ini biasanya dilakukan di dalam ruang reaksi yang terkendali dengan [[Atmosfer (satuan)|atmosfer]] gas tertentu.</div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Ini pertama kali ditunjukkan pada tahun 1967 di Divisi [[Autonetics]] North American Aviation (kemudian [[Rockwell International]]) di [[Anaheim, California]] oleh [[Harold M. Manasevit.]]</div></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Ini pertama kali ditunjukkan pada tahun 1967 di Divisi [[Autonetics]] North American Aviation (kemudian [[Rockwell International]]) di [[Anaheim, California]] oleh [[Harold M. Manasevit.]]</div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Referensi ==</div></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Referensi ==</div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><references /></ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">== Sumber dan atribusi ==</ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Deposisi+uap+kimia+metal+organik&oldid=28133086 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28133086 (2025-10-23T16:16:49Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Gambar pada artikel ini bersumber dari Wikimedia Commons dan mengikuti ketentuan lisensi masing-masing berkas. Mohon gunakan konten dan media secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">== Sumber dan atribusi ==</del></div></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><!</ins>-- <ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">WIKI_UNISSULA_PRESENTATION_V4 </ins>--<ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">></ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div> </div></td><td colspan="2" class="diff-side-added"></td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Deposisi+uap+kimia+metal+organik&oldid=28133086 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28133086 (2025</del>-<del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">10</del>-<del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">23T16:16:49Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi</del>-<del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">BerbagiSerupa (CC BY</del>-<del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</del></div></td><td colspan="2" class="diff-side-added"></td></tr>
</table>
Maintenance script
https://wiki.unissula.ac.id/index.php?title=Deposisi_uap_kimia_metal_organik&diff=6286&oldid=prev
Maintenance script: Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28133086; atribusi sumber disertakan.
2026-08-24T13:33:24Z
<p>Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28133086; atribusi sumber disertakan.</p>
<p><b>Halaman baru</b></p><div>'''Deposisi Fasa Uap Kimia Metalorganik''' ('''MOCVD''')''',''' juga dikenal sebagai '''Epitaksi Fasa Uap Organometalik''' ('''OMVPE''') atau '''Epitaksi Fasa Uap Metalorganik''' ('''MOVPE'''), adalah suatu teknik yang digunakan dalam [[fabrikasi semikonduktor]] untuk membuat lapisan tipis material [[semikonduktor]] seperti [[Galium arsenida|gallium arsenida (GaAs)]], [[Indium gallium arsenida|indium gallium arsenida (InGaAs)]], dan sejenisnya. Teknik ini melibatkan proses kimia di mana bahan kimia [[organometalik]] (zat kimia yang mengandung logam dan [[karbon]]) diuapkan pada suhu tinggi dan diarahkan menuju [[Substrat (kimia)|substrat]] yang dipanaskan. Proses ini biasanya dilakukan di dalam ruang reaksi yang terkendali dengan [[Atmosfer (satuan)|atmosfer]] gas tertentu.<br />
Ini pertama kali ditunjukkan pada tahun 1967 di Divisi [[Autonetics]] North American Aviation (kemudian [[Rockwell International]]) di [[Anaheim, California]] oleh [[Harold M. Manasevit.]]<br />
<br />
== Referensi ==<br />
<br />
<br />
<br />
== Sumber dan atribusi ==<br />
<br />
Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Deposisi+uap+kimia+metal+organik&oldid=28133086 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28133086 (2025-10-23T16:16:49Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</div>
Maintenance script