https://wiki.unissula.ac.id/index.php?action=history&feed=atom&title=Klorin_trifluorida
Klorin trifluorida - Riwayat revisi
2026-09-16T06:25:44Z
Riwayat revisi halaman ini di wiki
MediaWiki 1.46.0
https://wiki.unissula.ac.id/index.php?title=Klorin_trifluorida&diff=29006&oldid=prev
Maintenance script: Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi
2026-08-30T04:02:44Z
<p>Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi</p>
<table style="background-color: #fff; color: #202122;" data-mw-interface="">
<col class="diff-marker" />
<col class="diff-content" />
<col class="diff-marker" />
<col class="diff-content" />
<tr class="diff-title" lang="id">
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #202122; text-align: center;">← Revisi sebelumnya</td>
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #202122; text-align: center;">Revisi per 30 Agustus 2026 04.02</td>
</tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1">Baris 1:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">Baris 1:</td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''Klorin trifluorida''' adalah sebuah [[senyawa interhalogen]] dengan rumus kimia ClF<sub>3</sub>. Senyawa ini berwujud gas tak berwarna, beracun, [[korosi]]f, dan sangat reaktif. Senyawa ini sering dijual dalam bentuk cair (dengan diberi tekanan tinggi), dan dalam wujud ini ClF<sub>3</sub> berwarna kuning kehijauan muda. Senyawa ini banyak digunakan sebagai [[bahan bakar roket]], berbagai proses di [[industri semikonduktor]], pengolahan bahan bakar nuklir,, serta proses-proses industri lainnya.</div></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''Klorin trifluorida''' adalah sebuah [[senyawa interhalogen]] dengan rumus kimia ClF<sub>3</sub>. Senyawa ini berwujud gas tak berwarna, beracun, [[korosi]]f, dan sangat reaktif. Senyawa ini sering dijual dalam bentuk cair (dengan diberi tekanan tinggi), dan dalam wujud ini ClF<sub>3</sub> berwarna kuning kehijauan muda. Senyawa ini banyak digunakan sebagai [[bahan bakar roket]], berbagai proses di [[industri semikonduktor]],<ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><ref>Hitoshi Habuka. [https://www.researchgate.net/publication/234996806 Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride]. ''Journal of the Electrochemical Society''. 2004. Vol. 151 (11). hlm. G783–G787. doi:10.1149/1.1806391.</ref><ref>Xi, Ming et al. (1997) "Process for chlorine trifluoride chamber cleaning"</ref><ref>Hitoshi Habuka. [https://www.intechopen.com/books/physics-and-technology-of-silicon-carbide-devices/etching-of-silicon-carbide-using-chlorine-trifluoride-gas Physics and Technology of Silicon Carbide Devices]. 2012. doi:10.5772/50387. ISBN 978-953-51-0917-4.</ref> </ins>pengolahan bahan bakar nuklir,,<ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><ref>(BEST) Board on Environmental Studies and Toxicology. ''Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals: Volume 5''. National Academies Press. 2006. hlm. 40. ISBN 978-0-309-10358-9. (available from [http://books.nap.edu/catalog.php?record_id=11774 National Academies Press])</ref> </ins>serta proses-proses industri lainnya.<ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><ref>Boyce, C. Bradford and Belter, Randolph K. (1998) "Method for regenerating halogenated Lewis acid catalysts"</ref></ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Referensi ==</div></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Referensi ==</div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div> </div></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><references /></ins></div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker" data-marker="−"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div> </div></td><td colspan="2" class="diff-side-added"></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Sumber dan atribusi ==</div></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== Sumber dan atribusi ==</div></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><br></td></tr>
<tr><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Klorin+trifluorida&oldid=28798544 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28798544 (2026-01-10T09:18:46Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</div></td><td class="diff-marker"></td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Klorin+trifluorida&oldid=28798544 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28798544 (2026-01-10T09:18:46Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"></ins></div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-side-deleted"></td><td class="diff-marker" data-marker="+"></td><td style="color: #202122; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><!-- WIKI_UNISSULA_PRESENTATION_V4 --></ins></div></td></tr>
</table>
Maintenance script
https://wiki.unissula.ac.id/index.php?title=Klorin_trifluorida&diff=28606&oldid=prev
Maintenance script: Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28798544; atribusi sumber disertakan.
2026-08-30T03:26:32Z
<p>Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28798544; atribusi sumber disertakan.</p>
<p><b>Halaman baru</b></p><div>'''Klorin trifluorida''' adalah sebuah [[senyawa interhalogen]] dengan rumus kimia ClF<sub>3</sub>. Senyawa ini berwujud gas tak berwarna, beracun, [[korosi]]f, dan sangat reaktif. Senyawa ini sering dijual dalam bentuk cair (dengan diberi tekanan tinggi), dan dalam wujud ini ClF<sub>3</sub> berwarna kuning kehijauan muda. Senyawa ini banyak digunakan sebagai [[bahan bakar roket]], berbagai proses di [[industri semikonduktor]], pengolahan bahan bakar nuklir,, serta proses-proses industri lainnya.<br />
<br />
== Referensi ==<br />
<br />
<br />
<br />
== Sumber dan atribusi ==<br />
<br />
Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=Klorin+trifluorida&oldid=28798544 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28798544 (2026-01-10T09:18:46Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.</div>
Maintenance script