Maintenance script: Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi

2026-08-27T09:07:03Z

Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi

← Revisi sebelumnya		Revisi per 27 Agustus 2026 09.07
Baris 1:		Baris 1:
			[[File:Bug_1c.jpg\|thumb\|right\|280px\|Bug 1c]]

	'''MEMS''' (singkatan dari ''Micro Electro Mechanical Systems''; Sistem Mekanik Elektro Mikro) adalah struktur peralatan [[elektromekanika\|elektro-mekanik]] yang terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] mikro, dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian [[sirkuit terpadu]]. Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah [[silikon]].		'''MEMS''' (singkatan dari ''Micro Electro Mechanical Systems''; Sistem Mekanik Elektro Mikro) adalah struktur peralatan [[elektromekanika\|elektro-mekanik]] yang terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] mikro, dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian [[sirkuit terpadu]]. Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah [[silikon]].

Baris 4:		Baris 6:

	== Sejarah ==		== Sejarah ==
	Contoh awal dari perangkat MEMS adalah [[transistor]] gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh [[Harvey C. Nathanson]] pada tahun 1965. Contoh awal lainnya adalah [[resonistor]], sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh [[Raymond Wilfinger]] antara tahun 1966 dan 1971. Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada [[MOSFET]] dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan. Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: [[tinta katrid\|kartrid printer]] inkjet yang diproduksi oleh [[Hewlett-Packard]].		Contoh awal dari perangkat MEMS adalah [[transistor]] gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh [[Harvey C. Nathanson]] pada tahun 1965.<ref>[https://pubs.aip.org/aip/apl/article-abstract/7/4/84/66546/A-RESONANT-GATE-SILICON-SURFACE-TRANSISTOR-WITH?redirectedFrom=fulltext A resonant‐gate silicon surface transistor with high‐q band‐pass properties]. ''pubs.aip.org''.</ref> Contoh awal lainnya adalah [[resonistor]], sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh [[Raymond Wilfinger]] antara tahun 1966 dan 1971.<ref>[https://patents.google.com/patent/US3614677A/en Electromechanical monolithic resonator]. ''patents.google.com''.</ref><ref>[https://ieeexplore.ieee.org/document/5391934 The Resonistor: A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate]. ''ieeexplore.ieee.org''.</ref> Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada [[MOSFET]] dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan.<ref>[https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/0250687485870098?via%3Dihub The impact of MOSFET-based sensors]. ''www.sciencedirect.com''.</ref> Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: [[tinta katrid\|kartrid printer]] inkjet yang diproduksi oleh [[Hewlett-Packard]].<ref>[https://partstack.com/blog/why-mems-matter-the-tiny-tech-transforming-our-world/ Why MEMS Matter: The Tiny Tech Transforming Our World]. ''partstack.com''.</ref>

	== Jenis ==		== Jenis ==
	Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.		Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.<ref>[https://www.electronicdesign.com/technologies/test-measurement/article/21209866/mems-technology-is-transforming-highdensity-switch-matrices MEMS technology is transforming high-density switch matrices]. ''www.electronicdesign.com''.</ref>

	== Referensi ==		== Referensi ==
			<references />

			== Sumber dan atribusi ==

			Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=MEMS&oldid=28593551 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28593551 (2025-11-21T20:34:53Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Gambar pada artikel ini bersumber dari Wikimedia Commons dan mengikuti ketentuan lisensi masing-masing berkas. Mohon gunakan konten dan media secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.

	~~== Sumber dan atribusi ==~~		<!-- WIKI_UNISSULA_PRESENTATION_V4 -->

	~~Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=MEMS&oldid=28593551 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28593551 (2025~~-11-~~21T20:34:53Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi~~-~~BerbagiSerupa (CC BY~~-~~SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.~~

Maintenance script: Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28593551; atribusi sumber disertakan.

2026-08-27T08:41:19Z

Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28593551; atribusi sumber disertakan.

Halaman baru

'''MEMS''' (singkatan dari ''Micro Electro Mechanical Systems''; Sistem Mekanik Elektro Mikro) adalah struktur peralatan [[elektromekanika|elektro-mekanik]] yang terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] mikro, dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian [[sirkuit terpadu]]. Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah [[silikon]].

Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan [[motor]] ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.

== Sejarah ==
Contoh awal dari perangkat MEMS adalah [[transistor]] gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh [[Harvey C. Nathanson]] pada tahun 1965. Contoh awal lainnya adalah [[resonistor]], sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh [[Raymond Wilfinger]] antara tahun 1966 dan 1971. Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada [[MOSFET]] dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan. Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: [[tinta katrid|kartrid printer]] inkjet yang diproduksi oleh [[Hewlett-Packard]].

== Jenis ==
Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.

== Referensi ==

== Sumber dan atribusi ==

Konten artikel ini diadaptasi dari [https://id.wikipedia.org/w/index.php?title=MEMS&oldid=28593551 Wikipedia bahasa Indonesia], revisi 28593551 (2025-11-21T20:34:53Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.

MEMS - Riwayat revisi

Maintenance script: Presentation V4: sitasi, referensi, Math, Wikimedia Commons, dan atribusi

Maintenance script: Impor teks terkontrol dari Wikipedia bahasa Indonesia; revisi 28593551; atribusi sumber disertakan.