Nitrogen trifluorida
Nitrogen trifluorida adalah senyawa anorganik dengan rumus NF3. Senyawa nitrogen-fluor ini adalah gas tak berwarna, tak berbau, tidak mudah terbakar. Penggunaannya sebagai etchant dalam mikroelektronika ditemukan meningkat.
Referensi
Pranala luar
Sumber dan atribusi
Konten artikel ini diadaptasi dari Wikipedia bahasa Indonesia, revisi 29578590 (2026-08-14T19:32:30Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.