Triklorosilana
Triklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus HSiCl3. Senyawa ini merupakan cairan yang tidak berwarna dan tidak stabil. Triklorosilana yang telah dimurnikan merupakan pendahulu silikon yang sangat murni dalam industri semikonduktor. Jika dicampur dengan air, triklorosilana akan langsung berdekomposisi menjadi polimer silikon dan asam klorida. Triklorosilana sangat reaktif, sehingga sering digunakan dalam proses sintesis senyawa organik yang mengandung silikon.[1]
Produksi
Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300 °C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.
- Si + 3 HCl → HCl3Si + H2
Produk sampingan utama dalam reaksi ini adalah silikon tetraklorida (rumus kimia SiCl4), heksaklorodisilana (Si2Cl6), dan diklorosilana (H2SiCl2). Triklorosilana dapat dipisahkan lewat proses distilasi.
Triklorosilana juga dapat dihasilkan dari silikon tetraklorida:[2]
- Si + 3 SiCl4 + 2 H2 → 4 HSiCl3
Kegunaan
Triklorosilana adalah bahan dasar yang digunakan dalam proses produksi polisilikon yang telah dimurnikan.
- HSiCl3 → Si + HCl + Cl2
Bahan hidrosililasi
Lewat proses hidrosililasi, triklorosilana merupakan pendahulu senyawa organosilikon lainnya yang berguna:
- RCH=CH2 + HSiCl3 → RCH2CH2SiCl3
Referensi
- ↑ Lianhong Xu, Ravi Kurukulasuriya, "Trichlorosilane" Encyclopedia of Reagents for Organic Synthesis, 2006.
- ↑ sumber pada Wikipedia bahasa Indonesia
Sumber dan atribusi
Konten artikel ini diadaptasi dari Wikipedia bahasa Indonesia, revisi 13641121 (2018-01-21T00:05:14Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Gambar pada artikel ini bersumber dari Wikimedia Commons dan mengikuti ketentuan lisensi masing-masing berkas. Mohon gunakan konten dan media secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.