Klorin trifluorida
Klorin trifluorida adalah sebuah senyawa interhalogen dengan rumus kimia ClF3. Senyawa ini berwujud gas tak berwarna, beracun, korosif, dan sangat reaktif. Senyawa ini sering dijual dalam bentuk cair (dengan diberi tekanan tinggi), dan dalam wujud ini ClF3 berwarna kuning kehijauan muda. Senyawa ini banyak digunakan sebagai bahan bakar roket, berbagai proses di industri semikonduktor,[1][2][3] pengolahan bahan bakar nuklir,,[4] serta proses-proses industri lainnya.[5]
Referensi
- ↑ Hitoshi Habuka. Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride. Journal of the Electrochemical Society. 2004. Vol. 151 (11). hlm. G783–G787. doi:10.1149/1.1806391.
- ↑ Xi, Ming et al. (1997) "Process for chlorine trifluoride chamber cleaning"
- ↑ Hitoshi Habuka. Physics and Technology of Silicon Carbide Devices. 2012. doi:10.5772/50387. ISBN 978-953-51-0917-4.
- ↑ (BEST) Board on Environmental Studies and Toxicology. Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals: Volume 5. National Academies Press. 2006. hlm. 40. ISBN 978-0-309-10358-9. (available from National Academies Press)
- ↑ Boyce, C. Bradford and Belter, Randolph K. (1998) "Method for regenerating halogenated Lewis acid catalysts"
Sumber dan atribusi
Konten artikel ini diadaptasi dari Wikipedia bahasa Indonesia, revisi 28798544 (2026-01-10T09:18:46Z), yang tersedia berdasarkan lisensi Creative Commons Atribusi-BerbagiSerupa (CC BY-SA). Mohon gunakan konten ini secara bijak serta sesuai dengan ketentuan lisensi yang berlaku.